Einrichtungen

Das multidisziplinäre Nano-Strukturierungs-Labor ist die zentrale Forschungseinheit von LISA⁺.

Dieses beinhaltet einen Reinraum (Gesamtfläche 440 m²; 102 m² Klasse 1000 und 156 m² Klasse 10000) und Laborfläche verteilt auf über 20 Räume (Gesamtfläche ∼800 m²).

Die Technische Grundausstattung von LISA⁺ lässt sich vier Forschungsbereichen zuordnen:

1. Dünnfilmdeposition
2. Mikro & Nanostrukturierung
3. Dünnfilm- / Oberflächenanalyse
4. Laser-Raster-Mikroskopie, Ultrakurzzeit-Laser.