Eine Messspitze, die sich auf einem elastisch biegsamen Hebelarm (Cantilever) befindet, wird als Messsonde in geringem Abstand über die Probenoberfläche geführt. Ein piezoelektrischer Scanner bewegt hierfür entweder die Spitze über die Probe oder die Probe unter der feststehenden Spitze.
Die Verbiegungen des Hebelarms, hervorgerufen durch Kräfte zwischen Probe und Spitze, werden hochaufgelöst gemessen, indem ein Laserstrahl auf die Spitze gerichtet und der reflektierte Strahl mit einem Photodetektor aufgefangen wird.
Die Verbiegungen des Hebelarms geben Aufschluss über die Oberflächeneigenschaften der Probe.
