So zeichnen sich niederenergetische Elektronen mit Energien ~100 eV durch sehr hohe Wechselwirkungsquerschnitte mit Festkörpern und damit hohe Oberflächenempfindlichkeit aus. Sie werden in der niederenergetischen Elektronenbeugung (LEED) zur Bestimmung von Oberflächenstrukturen und in der Photoelektronenspektroskopie (PES) für die Element- und Bindungsanalytik benutzt. Beim Tunnelprozess von Elektronen zwischen Probenatomen und der Spitze eines Rastertunnelmikroskopes (STM) ist die Wechselwirkung auf die unmittelbar am Prozess beteiligten Atome begrenzt, und die Empfindlichkeit für vertikale Abstände und damit für Oberflächenkorrugationen auf atomarer Skale ist extrem hoch. Neben Elektronen werden aber auch Photonen vom Infrarot bis zur Röntgenstrahlung und Ionen/Atome zur Oberflächenanalyse genutzt. Dabei werden die Energiebereiche oder die Anregungs-/Detektionsgeometrien in geeigneter Weise angepasst, um die Information zur Oberfläche optimal gewinnen zu können.
Verschiedene Gruppen des Fachbereiches Chemie nutzen solche Methoden. In der AG Chassé des IPTC werden Methoden der Oberflächenanalytik kombiniert eingesetzt, um Grundlagenforschung für Dünnschichttechnologien voran zu treiben.
Weitere Informationen unter AG Chassé.
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