| Elektronen-, Ionenoptik, Geräte | C. Burkhardt, B. Schröppel |
| FIB-Präparation, Nanoindenting | C. Burkhardt, W. Dreher, K. Nickel, B. Schröppel |
| Analytische Elektronenmikroskopie | W. Dreher, J. Meyer |
| Hochauflösende Elektronenmikroskopie, sub-eV Sub-Angström Mikroskopie | W. Dreher, J. Meyer |
| Industrierelevante Elektronenmikroskopie Materialwissenschaften | W. Dreher, K. Nickel |
| Rasterelektronenmikroskopie/EPMA | A. Kappler, K. Nickel, H. Schulz, S. Staude |
| Rasterelektronen- und fokussierte Ionenstrahl-Mikroskopie und -Lithografie * Core Facility LISA+, | M. Fleischer, R. Löffler, M. Turad |
